电容位移传感器是一种非接触电容式原理的精密测量仪器，具有一般非接触式仪器所共有的无磨擦、无损磨特点外，还具有信噪比大，灵敏度高，零漂小，频响宽，非线性小，精度稳定性好，抗电磁干扰能力强和使用操作方便等优点。

电容的两极分别是传感器和与之相对的被测物体。如果有稳定交流电通过传感器，输出交流电的电压会与传感器到被测物体之间的距离成正比关系，从而可以通过测量电压的变化得到距离信息。

电容式传感器是一种将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器，它结构简单，体积小，分辨率高，具有平均效应，测量精度高，可实现非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，广泛应用于压力、差压、液位、振动、位移、加速度、成分含量等方面的测量。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件，则过大的阶跃电压会引起系统振荡。

工作原理及类型

由两块平行板组成一个电容器，若忽略其边缘效应，其电容量为

式中，ε为电容极板间介质的介质参数，ε=ε0εr,其中ε0 真空介电参数，εr为极板间介质的相对介电常数；S为两平板所覆盖的面积；d为两平行板之间的距离。

由式中可见，当S,d,和ε中任一参数发生变化时，电容量C也随之发生变化，通过测量电路就可以转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型3种。

被动式高的精度电容位移传感器：代表型号：48XX 系列，88XX系列，Mini系列

被动式电容传感器为一种非接触式精密位置传感器。基于追求的线性和稳定性而设计，其测量带宽高达20千赫-专用于伺服系统位置反馈和快速机床伺服应用理念。

主动式高的精度电容位移传感器：代表型号，58XX系列，68XX系列

-----突破纳米分辨率壁垒——实现亚纳米分辨率与快速响应-高达100千赫带宽!

6810型高分辨率电容式传感器提供了进的位置和位移性能测量。6810是专为“高动态”测量高速旋转或振荡的物体，如精密硬盘驱动主轴电机、精密空气轴承主轴和机械轴承