随着微机电技术的发展，如今的电容式加速度传感器都普遍采用的MEMS技术制造。磁致伸缩位移传感器通过非接触式的测控技术精准地检测活动磁环的位置来测量被检测产品的实际位移值的。下图显示了一种MEMS变电容式加速度传感器的结构，它的整个敏感元件由粘在一起的三个单晶硅片构成。其中上、下硅片构成两个固定电极，中间的硅片通过化学刻蚀形成由柔性薄膜支撑的具有刚性中心质量块的形状，薄膜的厚度取决于该加速度传感器的量程。另外，在薄膜上还有刻蚀出的小孔，当薄膜随质量块运动时，空气流经小孔从而产生所需的阻尼力。由于采用MEMS技术得到了这种一体化的结构，它的可靠性是相当高的。

电容式传感器具有结构简单，灵敏度高，温度稳定性好，适应性强，动态性能好等一系列优点，目前在检测技术中不仅广泛应用于位移、振动、角度、加速度等机械量的测量，还可用于液位、压力、成份含量等热工方面的测量中。

电容传感器

电容传感器，英文名称为capacitive type transducer，是一种将其他量的变换以电容的变化体现出来的仪器。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。其主要由上下两电极、绝缘体、衬底构成，在压力作用下，薄膜产生一定的形变，上 下级间距离发生变化，导致电容变化，但电容并不随极间距离的变化而线性变化，其还需测量电路对输出电容进行一定的非线性补偿。

电容传感器的分类

电容传感器按传感器类型分：

触摸传感器：包括显示器件和输入器件

运动传感器：包括加速度计、陀螺仪和磁传感器

位置传感器：包括位移传感器和接近传感器

其他传感器：包括压力传感器、位移传感器、液位传感器

电容传感器按原理分：

电容式传感器一般由两个平行电极构成，在其两个电极之间以空气作为介质，在不考虑边缘效应的前提下，其电容可表示为C=εS/d，其中，ε表示两电极间 介质(即空气)的介电常数，S表示两电极之间相互覆盖的面积，d表示两电极间的距离，电容受这三个参数影响，任意一参数的改变就会使得电容得以改变。位移激光传感器以其独特的丈量原理，已经广泛运用于产业、航天多种领域。

因 此，电容传感器分为介质变化型(ε的变化因此C的变化)、面积变化型(S的变化因此C的变化)和极距变化型(d的变化因此C的变化)三种。

电容式传感器是一种将被测非电量的变化转换为电容量变化的传感器，它结构简单，体积小，分辨率高，具有平均效应，测量精度高，可实现非接触测量，并能在高温、辐射和强烈振动等恶劣条件下工作，广泛应用于压力、差压、液位、振动、位移、加速度、成分含量等方面的测量。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。

工作原理及类型

由两块平行板组成一个电容器，若忽略其边缘效应，其电容量为

式中，ε为电容极板间介质的介质参数，ε=ε0εr,其中ε0 真空介电参数，εr为极板间介质的相对介电常数；S为两平板所覆盖的面积；d为两平行板之间的距离。

由式中可见，当S,d,和ε中任一参数发生变化时，电容量C也随之发生变化，通过测量电路就可以转换为电量输出。因此，电容式传感器可分为变极距型、变面积型和变介电常数型3种。

霍尔位移传感器依托霍尔周边信号传感器一起实现对电器元件、传感器接收信号处理。霍尔位移传感器安装在使用霍尔元件位置的固定塔的管箱内，管箱内的设备与常规设备相对应。

对于压力位移传感器来说，没有二位数、五位数的接口可供选择。液压控制（song-mobile）是通过对液体进行或经过特定工序的工作，而导致系统中某些部件或液体发生不良的一项分析技术。软件界面不简单，只能接受并处理。下面位移激光传感器厂家就来为大家详细介绍一下位移激光传感器的优势特点有哪些。同时，软件在工作状态下自动调节油、液、气等的流量、温度、相变方向。